東精エンジニアリング
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この時、バラツキのある外周の直径を合わせ、オリエンテーションフラットの幅の長さを合わせる事や、ノッチと呼ばれる微少な切り欠きの寸法を合わせる事も含まれる。ベベリング工程で使用される装置はベベリングマシンと言われ、日本メーカーの東精エンジニアリングの装置が、特に300mmシリコンウェハーの市場で多くのシェアを占めている。ラッピング工程では、鋳物製の上下2枚の定盤間にウエハーとステンレス製キャリアを挟み込み、そこにアルミナかシリコンカーバイドの砥粒を含んだラップ液を流し込みながら擦り合わせて、スライシング工程の時にできた表面の凹凸を除去しながら厚さ揃え、また表裏面の平行度も高める。
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株式会社東精エンジニアリングは、自動車、ベアリング、家電及び各種エレクトロニクス製品等の精密部品の生産ライン向け自動計測機器、また、半導体ウェーハ製造分野の各種自動化機器の開発製造を行うメーカーである。欧米、中国、韓国、タイ、インド、インドネシア等グローバル展開。
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