微小流体素子
全て
名詞
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- 一例として微小流体素子の製造に使用するための型の作成はSU-8のような光硬化樹脂やそれよりも工程数が増加して製作に要する期間が長くなるものの、耐久性、強度、および微細放電加工やエッチングを始めとする多様な工程により、さらに複雑な再加工を施すことが可能なニッケルの電鋳が用いられる。
- 微小流体素子であるマイクロリアクターの一種でチップ上に半導体製造で培われた微細加工技術を駆使して微細な流路が形成され、精密合成技術や微小流体制御技術を応用した素子でMicro-TASも包括する。
