メカニカルブースターポンプ
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メカニカルブースターポンプは一般的には長円形の金属製ケーシング中で、繭型の一対のローターを互いに90度の角度で高速で回転させるタイプのポンプである。大気中で使われるルーツブロア型送風機と同じ構造であるが、この場合ローターはかなりの高速で回転しないといけないこと、また排気抵抗を減らすために高精度な加工が施されている。
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プラズマCVDは一般的には反応室内部の圧力を真空ポンプで減圧して運転される。ポンプには油回転ポンプやドライポンプのほか、ターボ分子ポンプやメカニカルブースターポンプなどが組み合わせて用いられることもある。大気圧で運転するものもあり、これらは大気圧プラズマCVDと呼ばれる。
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