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シリコンウエハ
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シリコンウエハに行うエッチングの標準的な例では、塩素との反応とアルゴンイオンでのエッチングを交互に行う。
これは、反応性イオンエッチングより制御性が高いプロセスであるが、量産化検討に当たっては、スループットの問題がある。
...
半導体材料のシリコンウエハ容器メーカー。
大口径300ミリメートルウエハ搬送容器で世界首位。
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シリコンウエハ
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シリコンウエハ
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