シャロートレンチアイソレーション
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- 絶縁構造のディメンジョンの減少は、シャロートレンチアイソレーションによって解決されている。
- thumb|373x373px|現代的なICにおけるSTI製造プロセスの断面図 半導体デバイスのシャロートレンチアイソレーションとも呼ばれる。
