エピタキシー
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名詞
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基板と薄膜が同じ物質である場合をホモエピタキシャル、異なる物質である場合をヘテロエピタキシャルと呼ぶ。結晶成長の方法として分子線エピタキシー法や有機金属気相成長法、液相エピタキシー法などがある。エピタキシャル成長が起こるには格子定数のほぼ等しい結晶を選ぶ必要があり、温度による膨張係数の近い物でなくてはならない。
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以下の項目は1の薄膜についての記述となっている。薄膜は、PVD、CVDとエピタキシャル成長を利用したエピタキシーなどがある。
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